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电子级氢氟酸企业标准
发布：球信网化工 日期：2013/1/5 点击量：1138 次
电子级氢氟酸企业标准
| EL值 |
单位ppb |
|
| 项目 |
规格 |
EL级: 2、控制1微米粒径粒子 3、达到SEMIC1C2标准 4、适合中小规模集成电路及电子元件加工 |
| 含量% |
≥40 |
|
| 氯化物 |
5000 |
|
| 硅氟酸 |
50000 |
|
| 磷酸盐 |
500 |
|
| 砷 |
50 |
|
| 鉍 |
20 |
|
| 钙 |
100 |
|
| 钴 |
20 |
|
| 镓 |
20 |
|
| 金 |
50 |
|
| 铅 |
20 |
|
| 镁 |
200 |
|
| 钾 |
100 |
|
| 钛 |
100 |
|
| 钠 |
200 |
|
| 铊 |
500 |
|
| 锑 |
20 |
|
| 色度 |
10 |
|
| 硫酸盐 |
1000 |
|
| 亚硫酸盐 |
2000 |
|
| 铝 |
100 |
|
| 钡 |
100 |
|
| 硼 |
20 |
|
| 铬 |
20 |
|
| 铜 |
20 |
|
| 钠 |
200 |
|
| 铁 |
100 |
|
| 锂 |
20 |
|
| 锰 |
20 |
|
| 铂 |
100 |
|
| 银 |
20 |
|
| 锌 |
50 |
|
| 锡 |
20 |
|
| 颗粒0.5微米以上 |
27 |
用途：用于电子工业中集成电路与计算机芯片蚀刻，电子芯片与集成电路等的清洗，是电子化学品。
